Salle Blanche

La salle blanche (140 m², ISO 7 ou classe 10000) est une infrastructure, localisée au premier sous-sol du bâtiment (LS178), qui rassemble en son sein tous les équipements dédiés à la croissance, à la structuration et à la caractérisation de la matière à des échelles micro et nanométriques.
Ces technologies sont, après une période de formation, accessibles à l’ensemble des membres du laboratoire.

Les « savoirs-faire » de la plateforme s’articulent autour des thématiques fortes du LPENS, à savoir la fabrication de dispositifs quantiques performants à base de matériaux carbonés (1D et 2D), supraconducteurs et III-V. A ce titre la plateforme a développé une expertise reconnue en croissance CVD de nanotubes de carbone et de graphène et dans la fabrication d’hétérostructures à base de matériaux bidimensionnels.

Technologies

Les équipements de la salle blanche sont divisés en 5 pôles :

Pôle lithographie

Lithographie électronique (résolution d’écriture 10 nm), lithographie laser et UV (résolution 1μm). Plus d’infos …

Pôle transfert

Gravure plasma réactive fluorée (RIE), évaporation par effet Joule (Cr, Au, Al, …), évaporation par canon à électron (Au, Ti, Pd, …), dépôt d’oxydes (ALD : Al₂O₃, HfO₂ et ZnO) et pulvérisation cathodique (Nb, Ta, …). Plus d’infos …

Pôle croissance

Système AIXTRON pour la croissance CVD du graphène, four CVD pour la synthèse de nanotubes de carbone et un stamper pour les matériaux 2D utilisé pour la fabrication d’hétérostructures de type Van der Waals. Plus d’infos …

Pôle caractérisation

AFM, spectromètre Raman et réflectomètre optique. Plus d’infos …

Pôle back-end

Wire-bonding, scie diamantée et micro-cliveuse. Plus d’infos …

Consortium SBPC

La salle blanche du département de physique est également membre de la «Centrale de Proximité Paris Centre».

Ce consortium mutualise l’offre technologique en terme de micro-nano fabrication dans Paris Centre. Il rassemble cinq instituts de recherche parisiens : l’ENS, le laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques (MPQ, Université de Paris), l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP, Sorbonne Université), l’Observatoire de Paris et l’Institut Pierre-Gilles de Gennes (IPGG). Tous les membres du consortium ont accès à l’ensemble des salles blanches de ce réseau.

Ce consortium fait partie du réseau national RENATECH+.